Model

MRS101

MRS102

MRS103

MRS104

MRS105

Stage size（mm）

φ60

φ100

φ200

φ300

φ400

Gearratio

90：1

180：1

180：1

270：1

720：1

Resolution

0.0003°

0.0002°

0.0002°

0.0001°

0.000039°

Resetting positioning accuracy

＜0.01°

＜0.005°

＜0.004°

＜0.0035°

＜0.003°

Maximum speed

50°/s

25°/s

25°/s

12.5°/s

6°/s

Stepper motor（1.8°）

42stepper motor

56stepper motor

Maximum static torque（Ncm）

40

40

80

80

80

Loading capacity(kg)

30

50

60

70

80

Weight（kg）

0.9

1.8

7.2

13.5

37.5

Comment

The product can be used in vacuum environment，but you need to have it made to order.