型號(hào)

MRS101

MRS102

MRS103

MRS104

MRS105

臺(tái)面直徑（mm）

60

100

200

300

400

傳動(dòng)比

90：1

180：1

180：1

270：1

720：1

分辨率

0.0003°

0.0002°

0.0002°

0.0001°

0.000039°

重復(fù)定位精度

＜0.01°

＜0.005°

＜0.004°

＜0.0035°

＜0.003°

極限速度

50°/s

25°/s

15°/s

12.5°/s

6°/s

步進(jìn)電機(jī)（1.8°）

42步進(jìn)電機(jī)

56步進(jìn)電機(jī)

極限靜轉(zhuǎn)矩（Ncm）

40

40

80

80

80

極限中心負(fù)載（kg）

30

50

60

70

80

自重（kg）

0.9

1.8

7.2

13.5

37.5

備注

應(yīng)用真空環(huán)境中，需單獨(dú)訂貨