型號

MTS311

MTS312

MTS313

MTS314

MTS315

MTS316

MTS317

行程（mm）

50

100

150

200

250

300

400

臺面尺寸(mm)

120×120

120×120

120×120

150×120

150×120

150×120

165×160

導軌

線性滑塊

螺桿導程(mm)

4

5

分辨率（mm）

0.00032

0.00039

極限速度（mm/s）

20

40

50

重復定位精度(mm)

＜0.003

運動直線度（mm）

0.01

0.01

0.01

0.015

0.015

0.02

0.02

運動平面度（mm）

0.015

0.015

0.015

0.02

0.02

0.025

0.025

軸向間隙(mm)

＜0.005

步進電機（1.8°）

42步進電機

56步進電機

極限靜轉矩（Ncm）

40

50

170

中心負載（kg）

20

30

50

自重（kg）

3.4

3.8

4.1

5.5

5.8

6.3

11.5

備注

可選配防護罩，應用真空環境中，需單獨訂貨