型號(hào)

MTS601

MTS602

MTS603

MTS604

行程（mm）

50

100

150

200

臺(tái)面尺寸（mm）

120×120

150×120

導(dǎo)軌

線性滑塊

螺桿導(dǎo)程（mm）

4

分辨率（mm）

0.00032

極限速度(mm/s)

20

40

重復(fù)定位精度（mm）

＜0.001

軸向間隙（mm）

＜0.004

步進(jìn)電機(jī)（1.8°）

42步進(jìn)電機(jī)

極限靜轉(zhuǎn)矩(Ncm)

40

50

中心負(fù)載（kg）

20

30

自重（kg）

4

6

8.5

12.5

備注

可選配防護(hù)罩，應(yīng)用真空環(huán)境中，需單獨(dú)訂貨